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          潔凈室系統(tǒng)-無錫上江凈化設(shè)備有限公司
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          ISO14644-1、GB50073-2001潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
          ISO14644-1、GB50073-2001criterion standard of clean workshop

          Class等級 等級限制(Limited Class)
          0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
          (m3) (m3) (m3) (m3) (m3) (m3)
          1 10 2 / / / /
          2 100 24 10 4 / /
          3 1000 237 102 35 8 /
          4 10000 2370 1020 352 83 /
          5 100000 23700 10020 3520 832 29
          6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
          7 / / / 352000 83200 2930
          8 / / / 3520000 832000 29300
          9 / / / 35200000 8320000 293000

          注:1.每個采點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次;
          2.本標(biāo)準(zhǔn)不舍用于表征懸浮粒子的物理性,化學(xué)性、放射性及生命性;
          3.根據(jù)工藝要求確點(diǎn)1至2種粒徑;
          4.各種要求粒徑D的粒子大允許濃度Cn由公式確定,要求的粒徑在0.1~5um范圍,包括0.1um及5um。

          Cn=10NX(0.1/D)2.08

          式中:Cn——大于或等于要求粒徑的粒子允許濃度(pc/m3)。Cn是以四舍五入到相近的整數(shù),有效位數(shù)不超過三位數(shù)。
          N——沽浄度等扱, 敷字不超出9、 潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為允許遞增量。
          D——要求的粒徑(um)。
          0.1——常數(shù),其量綱為um。

          美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)
          (FS209E)America federation standard (FS209E)

          等級(Class) 粒徑(um)diameter of dust(um)
          01. 0.1 0.2 0.3 0.5 50
          1 35 35 7.5 3 1 /
          10 350 350 75 30 10 /
          100 / / 750 300 100 /
          1000 / / / / 1000 7
          10000 / / / / 10000 70
          100000 / / / / 100000 700

          各行業(yè)潔凈等級分類

          行業(yè)分類 潔凈度 級別
          01.μm級 1.000 10.000 100.000
          0.5μm級 10 100 1.000 10.000 100.000
          用途
          半導(dǎo)體工業(yè) 拉單晶 /
          擴(kuò)散 /
          腐蝕、光刻、表面處理、金屬蒸發(fā) /
          組裝試驗 /
          原料 /
          研磨 / /
          包裝
          半成品儲藏 /
          激光工業(yè) 氣體激光 /
          固體激光 /
          半導(dǎo)體激光、激光手術(shù)刀 /
          光學(xué)儀器 鏡片研磨 /
          刻標(biāo) /
          醫(yī)用照相機(jī)加工、裝配、鏡頭組裝 /
          膠片制造、干燥 /
          縮微膠片、顯像、干燥 /
          組裝 /
          涂漆、試驗、檢查 /
          計時·精密儀器 電子表、零件組裝、火箭零件加工組裝 /
          人造衛(wèi)星控制裝置 /
          高可靠性部件裝置 /
          微型軸承 /
          普通軸承 /
          組裝,檢查 /
          電子計算器 磁鼓、磁帶、磁盤 /
          加工、組裝、試驗、檢查 /
          電子機(jī)械、電子式計算測試 顯像管 / /
          高可靠管、光導(dǎo)攝像管 /
          印制板 /
          小型續(xù)電器 /
          精密電器儀表 /
          零件、加工、組裝、檢查 /
          藥品·醫(yī)學(xué)·醫(yī)院 制藥工序 /
          注射液·安瓶封瓶 /
          注射·林格氏液·疫苗貯存 /
          無菌手術(shù)室 /
          一般手術(shù)室、恢復(fù)室、LCU、CCU /
          無菌病房 /
          新生嬰·早產(chǎn)嬰兒室 /
          無菌房、手術(shù)機(jī)械保管室、無菌動物實(shí)驗、細(xì)菌實(shí)驗 /
          藥劑室 /
          一般病房、診療室 /
          食品釀造 牛奶、酒、乳酸菌飲料 /
          清涼飲料的瓶裝,封口 /
          乳制品、糕點(diǎn)包裝 /
          火腿片制造、蘑菇種植 /
          肉食加工 /